三甲基硅重氮甲烷甲基化是一种重要的有机合成反应，其机理已经被广泛研究。该反应的机理主要分为两步：

第一步，三甲基硅重氮甲烷与碱性物质反应生成三甲基硅重氮甲烯酸盐中间体。在这个过程中，碱性物质可以是碳酸钠、氢氧化钠等。

第二步，三甲基硅重氮甲烯酸盐中间体与芳香族化合物反应生成相应的甲基化产物。在这个过程中，三甲基硅重氮甲烯酸盐中的亚硝基离子被芳香族化合物中的亲电性位点攻击，形成共价键。这个过程中，三甲基硅重氮甲烷中的硅基团发生迁移，生成三甲基硅中间体，同时释放出氮气。

总的来说，三甲基硅重氮甲烷甲基化反应是一种重要的有机合成方法，可以用于合成芳香族化合物中的甲基基团。该反应的机理已经被深入研究，为有机化学领域的发展做出了重要贡献。