氯甲基三甲基硅烷是一种重要的有机硅化合物，广泛应用于化工、医药、电子等领域。其合成方法有多种，其中一种常用的方法是利用氧化硅和三甲基氯硅烷为原料，通过烷基化反应制得。

具体反应过程如下：首先将氧化硅和三甲基氯硅烷混合，并在惰性气体氛围下升温至300-400℃，使其在反应器内反应。接着，向反应器中通入氯甲烷，并控制反应温度在60-70℃范围内，同时保持反应器内压力。反应进行数小时后，制得的产物即为氯甲基三甲基硅烷。

这种合成方法具有反应条件温和、反应时间短、产率高等优点，同时可以通过改变反应条件来获得不同的产物。因此，它在有机硅化合物的生产中得到了广泛应用，并为相关领域的发展做出了重要贡献。