东京理化隔膜真空泵是一种高性能的真空泵，其工作原理是利用隔膜振动来实现气体的吸排。该真空泵广泛应用于半导体、太阳能、化工、制药等行业中，具有高效、低噪音、无污染等优点。

东京理化隔膜真空泵的关键部件是隔膜，隔膜通常由氟塑料等材料制成，具有高强度、高耐腐蚀性和高温性能。隔膜的振动由电磁铁产生的磁场控制，使得气体在隔膜两侧产生周期性的压缩和膨胀，从而实现气体的吸排。

该真空泵的工作原理简单、效率高，并且不需要润滑剂，因此无需担心润滑剂对被抽气体的污染问题。此外，该真空泵的运行噪音低，是一种环保、节能的设备。

总之，东京理化隔膜真空泵是一种高性能、高效率、环保节能的真空泵，广泛应用于半导体、太阳能、化工、制药等行业中。