磷酸三(三甲基硅基)酯，又称TMSP，是一种常用于核磁共振(NMR)实验的化合物。其合成路线主要包括以下几个步骤：

第一步，将三氯甲基硅烷(Trimethylsilyl chloride)与三甲基膦(Trimethylphosphine)在四氢呋喃(THF)中反应，生成三(三甲基硅基)甲基氯化硅(Trimethylsilylmethyltrichlorosilane)。

第二步，将上一步合成的产物与苯酚在催化剂三乙胺(TEA)的存在下反应，生成三(三甲基硅基)甲基苯酚(Trimethylsilylmethyl phenol)。

第三步，将上一步合成的产物与磷酸在DMF中反应，生成磷酸三(三甲基硅基)酯(TMSP)。

整个合成路线简单明了，且步骤简单易操作，适用于生产规模较小的实验室。同时，由于TMSP在核磁共振实验中的广泛应用，其合成路线的研究也具有一定的学术价值。